MarSurf UD 120組合式（shì）的輪廓和粗糙度測量（liàng）

一次測量完成粗糙（cāo）度和輪（lún）廓評定
技術參數
測（cè）量係統：光學測量係（xì）統
行程長度：0.1 mm~120 mm
測頭測量（liàng）範圍：10 mm~20 mm（采用雙（shuāng）倍長度測臂）
標準測尖：Lda14-10-2，金剛石（shí）2μm，90°,Lda 14-10-500，紅寶石（shí）測球，500 μm
Z向分辨率：2 nm
水平測量軸：光柵
X方向（xiàng）點距（jù）：0.05 u m~1 u m
殘餘（yú）誤差：35 nm
接觸力：0.5 mn~30 mn，可通過軟件調節
測量（liàng）速度：0.5 mm/s~2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用於輪廓測量≤0.5 mm/s，用於粗糙度測量
返程速度
X方向定位速（sù）度：最大4 mm/s
接觸誤差：O.1μm
距（jù）離測量顯示誤差．MPeea：±(1+11100)μm