MarSurf XCR 20粗糙度輪廓測量儀

技（jì）術參數
1、粗糙度技術參數
測量量程：±25，±250，±500 um
粗糙度輪廓分辨率：
垂直方向：50微（wēi）米量程（chéng）為0.8納米，500微米量程為8納米（mǐ）
分辨率（lǜ）：垂直方向60，000：1 水平方（fāng）向1 6，000：1
2、輪廓度（dù）技術參數：
掃描長度(X方向)：0.2mm至200mm
測量範圍（Z方向）：50mm適用於350mm測臂，25mm適用於175mm測臂
測量係統(X方向)：高精度光柵測量係統（出廠經激光幹涉儀校準）
測量係統(Z方向)：電感傳感器*，高精度，高線性度
測量速度(X方向)：0.2 mm/s至4 mm/s
定位速（sù）度(X方向)及返回（huí）速度：0.2 mm/s至8 mm/s
測臂長度175 mm，350 mm
測（cè）針（zhēn）半（bàn）徑（jìng）25 μm