
技術參(cān)數
1、圓度測(cè)量單元C-軸
徑向跳動誤差(P+V):0.03um+0.0006um/mm測(cè)量高度
圓度誤差(P或V):0.015um+0.0003um/mm測量高度
軸向跳動(dòng)(P+V):0.04um+0.0006um/mm測量半徑
圓度誤差(P或V):0.02um+0.0003um/mm測量半徑(jìng)
2、全自動調心調平(píng)工作台:
工作台直徑:160mm
工作台中心承載:200N(20KG)
主軸速度:1-20 rpm
3、垂直測量單元Z-軸(能雙軸(zhóu)聯動快速測量圓柱及全(quán)跳動(dòng))
測量高度(dù):250mm
直線度誤(wù)差:0.15um/lOOmm
全程直線度誤差:0.3 um
測量速度:0.5-20 mm/s
定位(wèi)速度:0.5-100 mm/s
4、儀器測量範圍:
工件最大直徑:230mm
測(cè)量最大高度:380mm