
旋轉(zhuǎn)工作台裝(zhuāng)置:旋轉精度徑向(xiàng)(0. 02+6H/10000)μm
H:為測量高度(mm) JIS B7451-1997
軸向(0. 02+6X/10000)μm X:為測量半徑(mm)
旋轉速度:4.6.10rpm
轉台有效直徑:φ150mm
最大調水平範圍:±1°
最大轉台負載:25kg
最大測量直徑:φ280
最大工件直徑:φ560
與轉台軸的平行度(dù):1.5 μm/300mm
最大移動速度:15mm/s(測量速(sù)度:0.5/1.0/2.0/5.Omm/s)
最(zuì)大行(háng)程:300mm
最大檢測高度(內徑/外徑):300mm*
最大檢測(cè)深度:φ32mm大幹(gàn)91mm,φ7mm大於50mm
驅動直線度:2.7μm/140mm(λc2.5)