
XT V160專(zhuān)為生產線和失效分析實驗室應用而設計。係統用戶(hù)可使用精確的操縱(zòng)杆控製5軸樣本操控裝(zhuāng)置(zhì)。
技術參數:
最大kV:160kV
最大電子束功率:20w
X射線焦點尺寸:1μm
缺陷識別能力:500nm
成(chéng)像係統(tǒng)(標配):16位100萬像素雙視場成像
操控裝置:5軸
檢測範圍:單個圖像中:406×406mm (16×16”)
最大(dà)絕對值(zhí):711×762mm (28×30”)
最大樣本重量:5kg (11|bs)
尺(chǐ)寸 : 930×2231×1975mm (37×88×78”)
重(chóng)量: 1935kg (4265|bs)